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时间@@:2022-10-19 信息来源@@: 作者@@: 浏览次数@@:436
兴福电子@@新建@@4万吨@@电子级硫酸产线@@品质取得新突破@@
【摘要@@】

10月@@18日@@,笔者从湖北兴福电子@@材料股份有限公司@@(以下简称@@“兴福电子@@”)获悉@@:该公司于今年二季度新投入试生产@@4万吨@@电子级硫酸产线@@,截止目前@@,该产线已基本达产达效@@。产出的电子级硫酸产品的关键指标@@Fe、Cr、Ni等金属离子小于@@5ppt,30nm颗粒度低于@@50pcs/mL,达到@@G5等级@@,品质达到@@国际先进水平@@,并且成功出货供应国内主流芯片企业@@。电子级硫酸又称高纯硫酸@@、超纯硫酸@@,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂@@,广泛应用于半导体@@、超大规模集成电路领域@@。

高品质电子级硫酸制备@@的关键技术长期被美国@@、德国和日@@本等国家垄断@@,我国长期依赖进口@@,随着国内@@28nm及以下先进制程的量产@@,进一步加剧超高品质电子级硫酸短缺的局面@@,严重影响我国半导体产业健康发展@@。

兴福电子@@自@@2017年第一套电子级硫酸生产线建成以来@@,围绕电子级硫酸生产关键技术与应用领域@@,通过@@5年的工艺创新及技术攻关@@,已掌握超高纯电子级硫酸制备@@和微纳颗粒脱除等系列关键技术@@,可稳定生产供应@@G5等级@@的电子级硫酸产品@@。据了解@@,此前@@,兴福电子@@已在国内率先实现@@28nm及以下先进制程用超高纯电子级硫酸批量生产@@,成功供应国内外知名半导体企业@@,打破了国际垄断@@。4万吨@@电子级硫酸产线@@正式投产后@@,兴福电子@@将拥有@@ 6万吨@@/年电子级硫酸产能@@,成为目前国内产能规模最大的电子级硫酸生产企业@@。

此外@@,该公司还拥有电子级磷酸@@、功能性配方化学品等多品类湿电子化学品@@,其自主开发的电子级磷酸产品同样打破了国际垄断@@@@。据介绍@@,经过十余年的技术革新@@,目前公司电子级磷酸产品关键技术指标@@Fe等金属离子达到@@@@3ppb以内@@,并成功应用于国际先进的芯片产线@@。据初步估算@@,该公司电子级磷酸产品国内市场占有率超@@60%,并大量出口海外客户@@。与此同时@@,该公司的硅蚀刻液@@@@,金属蚀刻液@@@@、BOE蚀刻液@@、以及清洗液等功能性配方化学品@@,产品品质达到@@国内领先水平@@,并且稳定供应国内外知名芯片企业@@。近年来@@,该公司致力于打造国际一流的芯片用电子化学品产业基地@@,持续加强电子化学品核心技术的开发升级和产业化应用@@,已成长为国内湿电子化学品行业头部企业@@。