i线光刻胶@@产品开发及产业化@@@@ |
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成果类别@@:新品开发@@ | 项@@目负责人@@@@:徐成中@@ |
专利情况@@:发明专利@@9项@@ | 知识产权@@:苏州瑞红电子化学品有限公司@@ |
获奖信息@@:科学技术成果鉴定证书@@【中轻联科鉴字@@(2017)第@@127号@@】 | 研发状态@@:产业化@@ |
详细描述@@: | |
1、 项@@目内容@@,掌握了@@i线正胶@@、g线厚膜胶和@@248nm深紫外光刻胶@@的核心制备@@技术@@,研究开发出@@i线正胶@@、g线厚膜胶和@@248nm光刻胶@@。i线正胶@@、g线厚膜胶产品通过华润上华@@、上海华虹宏力@@、中国电科@@13所@@、江阴长电先进@@、苏州晶方五家单位的应用考核@@、满足@@IC制造的使用要求@@;248nm光刻胶@@产品通过上海华虹宏力@@@@、中国电科@@13所@@测试@@。 2、 项@@目实施期间建成了@@100吨@@/ 年规模的@@i线正胶@@生产线和@@20吨@@/年规模的@@g线厚膜胶生产线@@,建成了中试规模的@@248nm深紫外光刻胶@@示范线@@。i线正胶@@和@@g线厚膜胶均取得多家用户订单@@。 3、 项@@目培养博士@@2人@@、硕士@@5人@@,并为@@4名博士后提供了研发工作条件@@。 4、 项@@目申请专利@@32项@@,授权专利@@9项@@,制定企业标准@@2项@@,开发新产品@@3项@@。 |