电子工业用氯气@@主要用于半导体制程中的蚀刻@@，光导纤维制造中的清洗等@@。产品规格为@@5N, 具体规格见下表@@：

项@@  目@@	指@@  标@@
Cl2  Purity (VF/10-2)             ≥	99.999
CO2  (VF/10-6)                     ≤	1
CO   (VF/10-6)                   ≤	0.5
CH4  (VF/10-6)                    ≤	0.1
H2   (VF/10-6)                    ≤	0.1
N2   (VF/10-6)                   ≤	1
O2   (VF/10-6)                    ≤	1
H2O  (wcr/10-6)                  ≤	1
Metals(wcr/10-6)                 ≤	0.5

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