电子工业用含氟气体@@CxHyFz主要用于半导体制程中的清洗和蚀刻@@。不同产品和配比用于不同的工艺制程@@。是用途最为广泛的清洗@@、蚀刻用气体@@。主要产品和规格@@见下表@@：

名称@@	化学式@@	规格@@
高纯一氟甲烷@@	CH3F	4N5
高纯二氟甲烷@@	CH2F2	4N8
高纯三氟甲烷@@	CHF3	5N
高纯六氟乙烷@@	C2F6	5N
高纯六氟丙烯@@	C3F6	4N
高纯八氟丙烷@@	C3F8	5N
高纯八氟环丁烷@@	C4F8	5N

浙江博瑞电子科技有限公司@@

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