名称@@：三氟化氮@@
级别@@：电子级@@
企业@@：山东飞源科技有限公司@@
应用@@：半导体集成电路@@、液晶面板及太阳能电池领域@@
一@@、产品规格及参数指标@@
项目@@
单位@@
公司产品指标@@
NF3
Vol.%
≥99.99
≥99.996
CF4
Vol .ppm
≤40.0
≤20.0
N2
Vol .ppm
≤10.0
≤5.0
O2+Ar
Vol .ppm
≤5.0
≤3.0
CO
Vol .ppm
≤5.0
≤0.5
CO2
Vol .ppm
≤5.0
≤0.5
N2O
Vol .ppm
≤5.0
≤1.0
SF6
Vol .ppm
≤5.0
≤1.0
H2O
Vol .ppm
≤1.0
≤1.0
Express
as HF
Vol .ppm
≤1.0
≤1.0
二@@、产品应用@@@@
1. 三氟化氮@@具有优异的蚀刻速率和选择性@@，而且对表面无污染@@，是电子行业中优良的等离子蚀刻气体@@。
2. 三氟化氮@@可大量减少污染物的排放@@，及显著提高清洗速度@@，用于化学蒸汽沉积@@（CVD）箱清洗@@，也可作蚀刻剂用做@@LCD加工@@。
3. 在非晶硅薄膜太阳能电池成膜过程中用于腔体清洗@@。
山东飞源科技有限公司@@
刘光宇@@ 销售总监@@
