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产品介绍@@

一@@、产品规格及参数指标@@

项目@@

单位@@

公司产品指标@@

CF4

Vol.%

≥99.999

N2

Vol .ppm

≤4.0

O2+Ar

Vol .ppm

≤1.0

CO

Vol .ppm

≤0.1

CO2

Vol .ppm

≤1.0

SF6

Vol .ppm

≤1.0

TFC

Vol .ppm

≤1.0

H2O

Vol .ppm

≤2.0

Express as HF

Vol .ppm

≤1.0

二@@、产品应用@@@@

1、作为电子工业中的等离子蚀刻气体@@,其高纯气及高纯四氟化碳@@配高纯氧气的混合气广泛用于硅@@、二@@氧化硅@@、氮化硅@@、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻@@。

2、用于电子器件表面清洗@@;3、也用作激光气体@@,用于低温制冷剂@@、溶剂@@、润滑剂@@、绝缘材料@@、红外检波管的冷却剂@@。






















山东飞源科技有限公司@@

刘光宇@@ 销售总监@@

地址@@:山东省淄博市高新区柳泉路@@125号@@先进陶瓷产业创新园@@B座@@2317
联系方式@@: 0533 8170450 15905333668
Email: lgy@sdfeiyuan.com