名称@@:四氟化碳@@
级别@@:
企业@@:山东飞源科技有限公司@@
应用@@:半导体器件@@、
一@@、产品规格及参数指标@@
项目@@
单位@@
公司产品指标@@
CF4
Vol.%
≥99.999
N2
Vol .ppm
≤4.0
O2+Ar
Vol .ppm
≤1.0
CO
Vol .ppm
≤0.1
CO2
Vol .ppm
≤1.0
SF6
Vol .ppm
≤1.0
TFC
Vol .ppm
≤1.0
H2O
Vol .ppm
≤2.0
Express
as HF
Vol .ppm
≤1.0
二@@、产品应用@@@@
1、作为电子工业中的等离子蚀刻气体@@,其高纯气及高纯四氟化碳@@配高纯氧气的混合气广泛用于硅@@、二@@氧化硅@@、氮化硅@@、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻@@。
2、用于电子器件表面清洗@@;3、也用作激光气体@@,用于低温制冷剂@@、溶剂@@、润滑剂@@、绝缘材料@@、红外检波管的冷却剂@@。
山东飞源科技有限公司@@
刘光宇@@ 销售总监@@