一@@、产品规格及参数指标@@ 项目@@ 单位@@ 质量标准@@ C4F8 Vol.% ≥99.999 N2 Vol .ppm ≤3 O2 Vol .ppm ≤1 CO Vol .ppm ≤0.5 CO2 Vol .ppm ≤0.5 CH4 Vol .ppm ≤0.5 H2O Vol .ppm ≤1 其它@@有机物@@ Vol .ppm ≤4 酸度@@ wt.ppm ≤0.1 二@@、产品应用@@@@ 1.       主要用在高压绝缘@@，超大规模集成电路的蚀刻@@。 2.       用作稳定无毒的食品气雾喷射剂@@、介质气体@@。 3.       电子工业用清洗剂@@。代替氯氟烃作为制冷剂@@。 山东飞源科技有限公司@@ 刘光宇@@ 销售总监@@ 地址@@：山东省淄博市高新区柳泉路@@125号@@先进陶瓷产业创新园@@B座@@2317 联系方式@@: 0533 8170450 15905333668 Email: lgy@sdfeiyuan.com