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当前位置@@：首页@@ > 产品展示@@ > 光刻胶@@

名称@@：KMP DK1080

级别@@：IC

企业@@：北京@@科华微电子材料有限公司@@

应用@@：先进集成电路制造@@

产品介绍@@

KMP DK1080是国内首款商业化的@@248nmDUV(KrF)光刻胶@@，由本公司独立开发完成@@，并实现向国内先进集成电路制造@@企业@@的批量供货@@。

KMP DK1080适用于集成电路制造中有@@Implant Layer工艺@@，在不使用底部抗反射涂层@@（BARC）时仍能消除由干涉引起的驻波效应@@，得到陡直的形貌@@。其膜厚范围为@@6000-9000A，分辨率达@@0.25um，同时具有快速的感光速度及优异的工艺@@窗口@@。