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产品介绍@@
KMP C6111系列@@光刻胶@@是正性厚膜@@I线光刻胶@@@@,主要应用@@于@@IC制程中@@光刻胶@@膜厚@@5um时的@@PAD金属钝化层和@@DNW的深肼离子注入层@@。该系列@@光刻胶@@工艺窗口大@@,抗蚀刻能力@@,抗离子注入能力和可去除性能都符合先进集成电路的需求@@,已广泛用于先进集成电路制造业企业@@@@。